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一、產(chǎn)品特點(diǎn)及用途

   1.產(chǎn)品特點(diǎn)

     該設(shè)備是一種新型工業(yè)級(jí)潔凈干燥設(shè)備，采用獨(dú)特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計(jì)，通過(guò)耐高溫超高效過(guò)濾器H.E.P.A不斷對(duì)內(nèi)部進(jìn)行自?xún)艋^(guò)濾，從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。

   2. 產(chǎn)品用途

     產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝。

二、產(chǎn)品詳細(xì)參數(shù);

   1.箱體結(jié)構(gòu)

    1.1.內(nèi)膽材質(zhì)：采用SUS304#日制800番1.5mm厚之鏡面不銹鋼板，滿(mǎn)焊處理，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE1。

    1.2.外殼材質(zhì)：外部采用1.2mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑，也可選用不銹鋼材質(zhì)。

    1.3.保溫材質(zhì)：采用120K高級(jí)保溫棉，六面保溫?cái)酂?，保溫厚度?0mm-150mm，保溫性能好。

    1.4 載物層架：可根據(jù)物品大小調(diào)節(jié)層間距，空間利用率高。

   2. 溫度控制系統(tǒng)：日本歐姆龍智能溫度控制器，定值恒溫控制模式，PID自動(dòng)演算，帶傳感器斷線(xiàn)報(bào)警功能，帶超溫警報(bào)保護(hù)功能，確保產(chǎn)品運(yùn)行安全。

   3. 控溫方式

    3.1.訊號(hào)來(lái)源：采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。

    3.2.輸出被控組件：SSR固態(tài)無(wú)節(jié)點(diǎn)輸出，確保加熱功率精準(zhǔn)。

   4.  箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

    4.1. 送風(fēng)方式：箱內(nèi)采用水平送風(fēng)或垂直送風(fēng)。

    4.2. 風(fēng)道結(jié)構(gòu)：風(fēng)道兩側(cè)采用高密度沖孔風(fēng)板，精準(zhǔn)控制導(dǎo)流板角度，確保箱內(nèi)溫度均勻性。

    4.3. 送風(fēng)裝置：采用大功率三相異步耐高溫型長(zhǎng)軸靜音馬達(dá)+大口徑不銹鋼渦輪扇葉，渦輪經(jīng)水平糾正處理，確保運(yùn)風(fēng)平穩(wěn) ，噪聲≤65dB。

    4.4. 送風(fēng)裝置安全保護(hù)系統(tǒng)：帶超溫過(guò)載過(guò)流保護(hù)功能，確保馬達(dá)及風(fēng)機(jī)的使用壽命和安全性能。

    4.5電加熱系統(tǒng)：采用覆套式不銹鋼無(wú)塵化電熱發(fā)生器，潔凈不產(chǎn)塵(無(wú)縫潔凈不銹鋼覆套，高絕緣導(dǎo)熱改性氧化鎂澆筑，無(wú)名火，安全不漏電）

   5.潔凈循環(huán)系統(tǒng)

    5.1采用平面水平后邊送風(fēng)后，經(jīng)耐高溫高效過(guò)濾器H.E.P.A裝置往前門(mén)(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng)，0.3um直徑PARTICLE，過(guò)濾效率99.97%，箱內(nèi)潔凈度可達(dá)Class 100。

    5.2排氣口：３"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門(mén))，以達(dá)到強(qiáng)烈循環(huán)效果而降溫。

    5.3壓差計(jì)：進(jìn)口壓差計(jì)，可實(shí)時(shí)監(jiān)控H.E.P.A工作狀態(tài)。

    5.4配全自動(dòng)開(kāi)關(guān)風(fēng)門(mén)，烘烤過(guò)程風(fēng)門(mén)緊閉，確保內(nèi)部對(duì)外封閉，防止外部排風(fēng)PARTICLE回塵污染

  6.整機(jī)安全保護(hù)系統(tǒng)

    6.1. 采用三重超溫保護(hù)系統(tǒng)，確保箱體在運(yùn)行過(guò)程中的整體安全性能（詳見(jiàn)技術(shù)參數(shù)）。

    6.2. 箱體內(nèi)部電器保護(hù)系統(tǒng)（確保箱體內(nèi)部電器運(yùn)行平穩(wěn)，安全可靠）：

    6.2.1.超溫防止器（獨(dú)立限溫，超溫?cái)嚯姡?/p>

    6.2.2.相序保護(hù)（欠壓欠相保護(hù)）；

    6.2.3.馬達(dá)過(guò)電流保護(hù)；

    6.2.4.控制線(xiàn)路保險(xiǎn)絲；

    6.2.5.電熱過(guò)電流保護(hù)；

    6.2.6.無(wú)熔絲開(kāi)關(guān)。