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晶圓存放在氮?dú)夤裥枰⒁饽男┦马?xiàng)
將晶圓存放在氮?dú)夤裰行枰貏e小心,以確保其質(zhì)量和穩(wěn)定性。以下是在存放晶圓時(shí)需要注意的事項(xiàng):
氮?dú)猸h(huán)境:確保氮?dú)夤駜?nèi)的氣氛保持干燥和純凈。使用高純度氮?dú)?,通常將相?duì)濕度控制在10%至60%之間,以防止靜電放電和減小塵埃的吸附。
溫度控制:維持適當(dāng)?shù)臏囟确秶ǔT?/span>20°C至24°C之間。溫度的穩(wěn)定性對(duì)于晶圓的質(zhì)量至關(guān)重要。
氣密性:確保氮?dú)夤窬哂辛己玫臍饷苄?,以防止外部濕氣、氧氣或污染物進(jìn)入柜內(nèi)。定期檢查和維護(hù)氮?dú)夤褚员3謿饷苄浴?/span>
溫度梯度:避免在晶圓之間或晶圓與氮?dú)夤駜?nèi)壁之間產(chǎn)生大的溫度梯度,這可能會(huì)導(dǎo)致熱應(yīng)力,損壞晶圓。
檢查和記錄:定期檢查氮?dú)夤駜?nèi)的條件,并記錄溫度、濕度和其他相關(guān)參數(shù),以進(jìn)行質(zhì)量控制和追溯。
存放晶圓在氮?dú)夤裰惺前雽?dǎo)體制造和研究中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),因此要特別小心,以確保晶圓的質(zhì)量和穩(wěn)定性。
蘇州格瑞達(dá)節(jié)能型氮?dú)饪刂葡到y(tǒng)在同等使用條件下比傳統(tǒng)氮?dú)夤裰辽俟?jié)省50%以上氮?dú)?。以為多家半?dǎo)體行業(yè)、新能源行業(yè)、軍工單位、以及各大院校提供節(jié)能型氮?dú)夤瘛⒎莱毕涞?/span>。有需要氮?dú)夤?、防潮箱、烘箱?/span>可與我司聯(lián)系,獲取客戶(hù)使用案例。
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